검색서비스>시험기관검색
시험기관검색KOLAS Search Service
시험은 특정한 제품,공정 또는 서비스를 대상으로 하나 또는 그 이상의 특성을 규정된 절차에 따라 측정하는 기술적인 작업, 설계, 제품, 서비스, 공정, 공장에 대한 조사 및 특정요건이나 전문적 판정, 일반요건을 근거로 한 적합성 판정을 말한다.
| 인정번호 (Accreditation No) |
KT1218 |
기관명
(Organization Name) |
주식회사 이엘
| 공인유효기간 |
2024-09-12 ~ 2028-09-11 |
| 주소 |
대전광역시 유성구 가정북로 96 |
| 소재지 |
대전광역시 유성구 가정북로 96 |
| 담당자 |
박원영 |
| 전화 번호 |
042-861-0110
|
| 팩스 번호 |
042-367-6938
|
| 인정범위 |
화학시험
|
|
규격번호
(Test method) |
규격명
(Standard designation) |
시험범위
(Test Range) |
사업장
(Site) |
| ▶ 대기 |
| KS I 0587:2023 |
고정배출원 - 반도체 및 디스플레이 공정에서 사용되는 Non-CO2온실가스(CF4, NF3, SF6, N2O) 체적 유량 측정방법 |
CF4, SF6 농도 : (0.02 ~ 150 000) μmol/mol
NF3, N2O 농도 : (0.05 ~ 150 000) μmol/mol
CF4, SF6 체적유량 : (1.2×10-5 ~ 1.35×107) L/min
NF3, N2O 체적유량 : (3×10-5 ~ 1.35×107) L/min
저감효율 : (5 ~ 99.99) % |
소재지 |
국립환경과학원고시 제2026-15호
(2026.6.8.) |
온실가스공정시험기준 ES 13501 - 산업공정 내의 아산화질소, 수소불화탄소, 과불화탄소, 육불화황, 삼불화질소 - 적외선흡수분광법 |
CF4, C2F6, C3F8, C4F8, CHF3, SF6 농도 : (0.02 ~ 150 000) μmol/mol
CH2F2, NF3, N2O 농도 : (0.05 ~ 150 000) μmol/mol
CF4, C2F6, C3F8, C4F8, CHF3, SF6 부피유량 : (2×10-10 ~ 225) Nm3/s
CH2F2, NF3, N2O 부피유량 : (5×10-10 ~ 225) Nm3/s
저감효율 : (5 ~ 99.99) % |
소재지 |
